xfythy 发布于2024-01-09 00:45:22 碳化硅板 15 次
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在碳化硅衬底的精抛光工艺流程中,通常使用的是聚氨酯抛光垫或氧化铈抛光垫。这两种抛光垫都具有良好的弹性和抛光性能,能够有效去除衬底表面的微小缺陷和杂质,使衬底表面达到高度平滑和清洁的状态。
柔软度好:能够很好地适应衬底表面的微小不平整,保证抛光效果。耐磨性强:在抛光过程中不易磨损,能保持一致的抛光效果。化学稳定性:与抛光液(如氧化铈或者其他抛光剂)兼容性好,不会发生不良化学反应。
氧化铈抛光液是以微米或亚微米级CeO2为磨料的氧化铈研磨液,该研磨液具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。适用于高精密光学仪器,光学镜头,微晶玻璃基板,晶体表面、集成电路光掩模等方面的精密抛光。
碳化硅具有极高的硬度,普通的机械抛光很难实现其表面平整。一般需要***用化学机械抛光法,也称CMP。 CMP抛光液主要由氧化剂、抛光粒子、pH缓冲液等组成。常用的抛光粒子有二氧化硅、氧化铈等。
1、高硬度以及耐高温性能等,按其烧结方式可分为:反应烧结碳化硅(rbSiC)、无压固相烧结碳化娃(ssic)、液相烧结碳化娃(lsic)、热压烧结碳化硅(hpsic)和再结品碳化硅(rsic)等。
2、碳化硅分为:绿碳化硅和黑碳化硅两个品种(高纯碳化硅是无色透明的,此外还有***.蓝色的碳化硅。通常将***。无色碳化硅归入绿色碳化硅,蓝色的归入黑色碳化硅)用途:用作耐火材料和炼钢脱氧剂。
3、碳化硅晶体结构分为六方或菱面体的 α-SiC和立方体的β-SiC(称立方碳化硅)。α-SiC由于其晶体结构中碳和硅原子的堆垛序列不同而构成许多不同变体,已发现70余种。β-SiC于2100℃以上时转变为α-SiC。
4、碳化硅砖按结合方式不同可分为粘土结合碳化硅砖、β-碳化硅结合碳化硅砖、氧氮化硅结合碳化硅砖、氮化硅结合碳化硅砖、塞隆(Sialon)结合碳化硅砖和重结晶碳化硅砖。
1、碳化硅,是一种无机物,化学式为SiC,是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石。
2、碳化硅是一种无机物,化学式为SiC,由石英砂、石油焦(或煤焦)、锯末(生产绿色碳化硅需加盐)等原料在电阻炉中高温熔炼而成。碳化硅也是自然界的稀有矿物,莫桑石。
3、碳化硅材料属于生物惰性陶瓷,这类陶瓷在生物体内化学性质稳定,无组成元素溶出,对机体组织无***性。碳化硅材料的生物性能符合生物安全性(biological safety)、生物相容性(biocompatibility)、生物功能性(biofuncationabilitv)。
4、碳化硅是一种新型无机非金属材料。它在高温、高频下具有很好的稳定性和导电性。碳化硅具有硬度高、耐磨、耐腐蚀、耐高温等特性,因此被广泛应用于工业、电子、冶金等领域。
5、碳化硅又名碳硅石、金刚砂,是第三代半导体材料代表之一,是一种无机物,是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。
6、问题一:碳化硅属于什么材料?应该有什么样的检测方式? Si胆属工程陶瓷,目前市面上主要有两种碳化硅:无压烧结碳化硅、反应烧结碳化硅 可以检查硬度、密度、气孔率、游离硅含量、抗拉强度、抗压强度等。
1、先打大孔,后打小孔。因为大孔力矩比小孔大,这样如果后打大孔,就会增加板坏可能性,所以先打大孔。
2、B. 要求:研磨后的盲孔(Blind via)、埋孔(Buried via)孔口平整,孔边无剩余胶渍,黑化层去除干净,为保证层压及基板的凹痕内黑化层去除干净,最好将板过微外蚀处理。
3、如果要钻的孔比较小(如在16mm以内),可以用麻花钻直接钻孔。为防钻头咬入的时候偏移,通常先用冲子打一个小坑。没有必要先钻小孔再去扩大。更大一些的孔,可以用高速钢开孔器钻,可以钻到4寸甚至更大的直径。
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